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国产高端半导体检测设备发布一机两用覆盖半导体全链条检测需求

加入日期:2026/6/29 19:33:50

  中财投资网(www.161588.com)2026/6/29 19:33:50讯:

IT之家6月29日消息,据科大硅谷公众号昨日消息,安徽凌光红外科技有限公司近日发布了LUXET VERITAS微光显微镜及激光诱导电阻变化(EMMI+OBIRCH)二合一显微镜,填补国内市场空白。

IT之家获悉,LUXET VERITAS二合一显微镜深度融合EMMI微光检测与OBIRCH激光诱导电阻变化两大主流失效分析功能,一机两用、高度集成,全面覆盖全链条检测需求。

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据介绍,当前全球产业步入先进制程时代,芯片内部结构愈发精密复杂,电性失效分析成为芯片研发迭代、良率提升与品质保障的核心环节。

在核心硬件与性能参数上,设备搭载深度制冷近红外相机与大口径自研1.35倍物镜,EMMI模块可精准定位纳安级微弱漏电,高效识别PN结击穿、闩锁效应、栅极氧化层漏电、多晶硅缺陷等典型失效问题;OBIRCH模块采用1300nm标准激光波段、500mW额定功率,可实现pA级超高精度电流放大测量,精准排查金属线路、导通孔、接触孔阻值异常等隐蔽缺陷。

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