爱建证券指出，国产半导体设备向7nm及以下先进制程突破的过程，本质上也是零部件同步升级的过程。长鑫科技科创板IPO于5月27日正式上会，拟募资用于产能扩张，国产存储产业链发展持续受到市场关注。先进制程对材料纯度、加工精度、颗粒控制等提出更高要求，推动零部件持续向高精度、高洁净度及高可靠性升级。核心零部件在设备成本中占比较高，持续受益于先进制程及多腔化升级。存储扩产+设备多腔化趋势有望持续提升设备单机价值量、单位腔体密度以及核心零部件价值占比，进一步放大半导体设备零部件环节的业绩弹性。半导体设备行业扩容叠加供应链重构，国产零部件企业有望持续提升份额。根据SEMI，2025年全球半导体制造设备总销售额达1351亿美元，预计2026年、2027年将继续攀升。中国半导体设备零部件企业在先进制程核心环节的国产化进程中持续突破，金属、硅及石英、电气、真空及气体系统、陶瓷类等各环节均有企业实现量产或进入头部供应链。

科创芯片ETF国泰（589100）跟踪的是科创芯片指数（000685），单日涨跌幅限制达20%，该指数覆盖了半导体材料、设备、芯片设计、制造、封装与测试等全产业链环节，成分股精选自科创板代表性企业。指数行业集中度高，以半导体产业为主，同时涉及相关电子与设备领域，反映了科创板芯片产业上市公司证券的整体表现。

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