下跌2.20%，半导体设备ETF华夏（562590下跌1.90%。

　　规模方面，科创半导体ETF（588170最新规模达90.53亿元，创成立以来新高；半导体设备ETF华夏最新规模达26.72亿元。

　　资金流入方面，科创半导体ETF（5881702月27日获资金净流入4.69亿元。拉长时间看，近4个交易日内有3个交易日获资金净流入，合计吸金5.65亿元，日均净流入达1.41亿元。

　　东吴证券认为，在AI算力需求爆发背景下，全球半导体设备市场规模持续创新高。中国大陆晶圆产能全球占比仍低于销售占比，存储龙头资本开支维持高位，叠加两大存储厂商上市融资在即，扩产动能具备持续性，支撑前道设备景气度中长期上行。（张凌之